[实用新型]一种扩散炉的石英舟抓手有效

专利信息
申请号: 202022637701.X 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN213424958U 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 秦彬 申请(专利权)人: 杭州帕兹电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 姜宇
地址: 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手,属于石英舟技术领域。该扩散炉的石英舟抓手包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆,所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴,所述风机固定连接于所述基架箱内部一侧,所述冷水箱组件固定连接于所述基架箱内部另一侧,所述风管嘴内嵌于所述基架箱顶部一侧,所述风管嘴朝向所述传送杆顶面,所述风机输出端与所述盘管一端连通,所述盘管位于所述冷水箱组件内部,所述盘管另一端与所述风管嘴连通。本实用新型方便对石英舟进行冷却散热处理,避免石英舟自然耗时长,从而增加了太阳能电池的制备效率。
搜索关键词: 一种 扩散 石英 抓手
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