[实用新型]一种扩散炉的石英舟抓手有效
申请号: | 202022637701.X | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN213424958U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 秦彬 | 申请(专利权)人: | 杭州帕兹电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 姜宇 |
地址: | 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手,属于石英舟技术领域。该扩散炉的石英舟抓手包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆,所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴,所述风机固定连接于所述基架箱内部一侧,所述冷水箱组件固定连接于所述基架箱内部另一侧,所述风管嘴内嵌于所述基架箱顶部一侧,所述风管嘴朝向所述传送杆顶面,所述风机输出端与所述盘管一端连通,所述盘管位于所述冷水箱组件内部,所述盘管另一端与所述风管嘴连通。本实用新型方便对石英舟进行冷却散热处理,避免石英舟自然耗时长,从而增加了太阳能电池的制备效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 抓手 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造