[实用新型]一种晶圆背面磨床的清洗组件有效

专利信息
申请号: 202022638031.3 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN213915114U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 俞佳文;翟潇杰;赵文豪;王佳鑫;张佳斌 申请(专利权)人: 天通日进精密技术有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 金亚丁
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种晶圆背面磨床的清洗组件,包括外框体、冲洗组件以及清理组件,所述清理组件设置在外框体内,所述冲洗组件设置在外框体上,所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件,所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件,所述甩干部件包括吸附件、转动件以及驱动件,所述吸附件与转动件相连接,所述驱动件与转动件相连接,所述驱动件带动转动件转动;所述甩干部件部分设置在壳体部件内,所述支撑部件设置在壳体部件一侧且与外框体相连接,所述升降部件设置在壳体部件下方且与甩干部件相连接,所述升降部件可带动甩干部件上下运动。本实用新型结构紧凑,具有清洗以及甩干的功能,使用方便。
搜索关键词: 一种 背面 磨床 清洗 组件
【主权项】:
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