[实用新型]一种晶圆背面磨床的清洗组件有效
申请号: | 202022638031.3 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN213915114U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 俞佳文;翟潇杰;赵文豪;王佳鑫;张佳斌 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 金亚丁 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的清洗组件,包括外框体、冲洗组件以及清理组件,所述清理组件设置在外框体内,所述冲洗组件设置在外框体上,所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件,所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件,所述甩干部件包括吸附件、转动件以及驱动件,所述吸附件与转动件相连接,所述驱动件与转动件相连接,所述驱动件带动转动件转动;所述甩干部件部分设置在壳体部件内,所述支撑部件设置在壳体部件一侧且与外框体相连接,所述升降部件设置在壳体部件下方且与甩干部件相连接,所述升降部件可带动甩干部件上下运动。本实用新型结构紧凑,具有清洗以及甩干的功能,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 背面 磨床 清洗 组件 | ||
【主权项】:
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