[实用新型]一种晶圆自动化涂源装置有效
| 申请号： | 202022649200.3 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN214320625U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李健儿;李学良;马晓洁;唐毅;敬毅 | 申请（专利权）人： | 四川洪芯微科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B14/465;B05B16/20;B05D3/02;B05B15/68;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 杨洪婷 |
| 地址： | 629200 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆自动化涂源装置，包括传送带和装有扩散源的喷雾装置；还包括，喷雾室壳体，配置于该传送带上方；支架，固定于该喷雾室壳体内壁；锁定机构，与该喷雾装置连接；该喷雾装置枢接于支架，该喷雾装置可绕其枢接中心转动，该锁定机构用于该喷雾装置与该支架之间的相对转动。本实用新型能够根据生产实际调整喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 装置 | ||
【主权项】：
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