[实用新型]用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置有效
| 申请号： | 202022650412.3 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213538091U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 苏浩然;李丹 | 申请（专利权）人： | 南京蔚特尔智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/26;H01J43/08 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市建邺区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光电倍增管技术领域，具体公开一种用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，包括工作台、控制器、支撑杆、上基板、球壳、抽真空组件、旋转机构、拉伸机构和蒸发机构，所述控制器固定设置于工作台的顶部一角，所述上基板固定设置于四个支撑杆的顶部，所述球壳位于上基板的顶部，所述拉伸机构包括转盘、一对伸缩组件和复数组扩张组件，所述旋转机构包括步进电机和连动装置，所述蒸发机构包括第一蒸发电极、第二蒸发电极和复数组蒸发组件，本实用新型通过将光电倍增管阴极球壳插设于上基板上并操纵控制器，对球壳进行均匀镀膜，操作方便，快捷高效，提高对大面积光电倍增管的阴极球壳均匀镀膜的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光电 阴极 制备 大面积 均匀 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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