[实用新型]一种气体分流模块化装置有效
| 申请号： | 202022654100.X | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213872220U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈志强 | 申请（专利权）人： | 浙江东开半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01;B01D46/00 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 田金霞 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。本实用新型提供的有益效果在于原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用，解决了使用气体分流盘VMP现场改造洁净控制的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分流 模块化 装置 | ||
【主权项】：
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