[实用新型]一种真空镀膜用均匀加热装置有效
| 申请号： | 202022665707.8 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213624360U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王孟良;吴彦奇;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;梅艳红 | 申请（专利权）人： | 深圳天成真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733 | 代理人： | 李夏宏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种真空镀膜用均匀加热装置，包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板，两个所述侧板上均固定连接有第二轴承，其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴，另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴，所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板，所述第二转轴上固定连接有第二固定板，所述第二固定板上固定连接有第一轴承，所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板，所述第一转轴另一端传动连接有电机。本实用新型具有保证工件均匀受热的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 均匀 加热 装置 | ||
【主权项】：
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