[实用新型]一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统有效
| 申请号： | 202022670021.8 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN214233547U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 陈汉德;林仕伟;周义龙;陈宝;符坚;林正玺;王玲转;林慧媛;符智豪;黄修彩 | 申请（专利权）人： | 海南聚能科技创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 571152 海南省海*** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。本实用新型通过多级配气和浓度检测，能够满足不同浓度，尤其是低浓度气体的配制需求，配气浓度范围广，同时提高了气体配制浓度的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 宽配气 浓度 准确度 动态 系统 | ||
【主权项】：
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