[实用新型]一种扩散源瓶及扩散系统有效

专利信息
申请号: 202022673046.3 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213340403U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 王文健;姜大俊;潘励刚;郑旭然 申请(专利权)人: 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;F16L55/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 224000 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及光伏电池制造技术领域,公开了一种扩散源瓶及扩散系统。该扩散源瓶包括瓶体、进气管和出气管。瓶体顶部设有连通其内外的出气通道,出气通道呈锥形且竖直设置,出气通道的直径由上至下逐渐增大。进气管的一端置于瓶体外部,另一端伸入瓶体内并靠近瓶体底部。出气管的一端与出气通道的末端连通。本实用新型提高了产品的合格率,又提高了安全性。
搜索关键词: 一种 扩散 系统
【主权项】:
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