[实用新型]一种扩散源瓶及扩散系统有效
申请号: | 202022673046.3 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN213340403U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 王文健;姜大俊;潘励刚;郑旭然 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;F16L55/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,公开了一种扩散源瓶及扩散系统。该扩散源瓶包括瓶体、进气管和出气管。瓶体顶部设有连通其内外的出气通道,出气通道呈锥形且竖直设置,出气通道的直径由上至下逐渐增大。进气管的一端置于瓶体外部,另一端伸入瓶体内并靠近瓶体底部。出气管的一端与出气通道的末端连通。本实用新型提高了产品的合格率,又提高了安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 系统 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的