[实用新型]微机电系统换能器和麦克风组件有效
申请号: | 202022679814.6 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN213818153U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | M·佩德森;J·沃森;J·斯泽赫 | 申请(专利权)人: | 楼氏电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | H04R3/00 | 分类号: | H04R3/00;H04R19/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王青芝;王小东 |
地址: | 215131 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 微机电系统换能器和麦克风组件。提供了一种用于集成在麦克风组件中的微机电系统(MEMS)换能器,该MEMS换能器被设计成生成经热产生的声信号。该MEMS换能器通常包括:具有孔的基板,至少部分地位于孔上方并且联接至基板的换能部件,联接至换能部件的电触点,以及与基板或换能部件集成在一起的电阻器。电阻器联接至与MEMS换能器或换能部件的触点电隔离的电触点。该换能部件包括联接至基板的绝缘材料。该换能部件包括至少部分地位于基板的孔上方的固定电极和可移动电极。将该固定电极或移动电极形成在该绝缘材料上。可以将该电阻器形成在该绝缘材料上或者从该绝缘材料悬置。 | ||
搜索关键词: | 微机 系统 换能器 麦克风 组件 | ||
【主权项】:
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