[实用新型]一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置有效
| 申请号： | 202022684931.1 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN213824169U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈洪建 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;C01B3/52 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，本实用新型，在对氢气回收过程中，进行氯硅烷浓度的检测，一旦一批次的氢气中氯硅烷的含量过高，将重新进行吸附作用，直到浓度达到为止，从而提高了进入回收箱的氢气纯度，保证后序的工作有效的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 生产 中的 氢气 回收 装置 | ||
【主权项】：
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