[实用新型]玻璃晶圆吸附装置

摘要

本实用新型公开了玻璃晶圆吸附装置，包括底座，所述底座的表面安装有放置台，且放置台的内侧表面设置有凹槽，所述底座的外侧表面安装有竖杆，所述竖杆的内侧表面开设有滑道，且滑道的内侧安置有移动台，所述移动台的内部中间设置有圆槽，所述放置台的底部安装有底板。本实用新型提供了玻璃晶圆吸附装置，放置台与底板之间相互配合，根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆将放置台向往外侧移动，大大增加了放置台的灵活性，放置台内侧设置有凹槽，凹槽与放置台之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台，四组凹槽拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块上，并且配合弹力拉网可以从底部托住晶圆。