[实用新型]一种暂存装置及镀膜设备有效
申请号: | 202022697734.3 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN213624367U | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54;H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王艺涵 |
地址: | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种暂存装置及镀膜设备,其中,暂存装置设置在传输线的两工序装置之间,包括:暂存机构和驱动机构。暂存机构包括至少两个暂存台,暂存台的承载面与传输线的传输方向平行设置,所述暂存台的承载面的承载量至少大于两工序装置中任一个的单次工艺加工量;驱动机构包括至少一个对接驱动器,对接驱动器的驱动端与每个暂存台连接,对接驱动器驱动承载面与传输线上相邻的装置连接。通过暂存台的缓存,实现慢速工艺与快速工艺的相互适配,减少了慢速工艺等待待加工件供应的问题,有效缩短整机设备的生产节拍,从而解决了相邻工序装置之间衔接问题,保证整机设备的生产节拍顺畅性。 | ||
搜索关键词: | 一种 暂存 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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