[实用新型]一种半导体材料研磨抛光机有效

专利信息
申请号: 202022708869.5 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN214109948U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 包安勇 申请(专利权)人: 常州岚玥新材料科技有限公司
主分类号: B24B21/02 分类号: B24B21/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B21/18;B24B55/08;B24B55/12
代理公司: 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 代理人: 王成红
地址: 213200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体材料研磨抛光机,包括加工台,所述加工台的左侧设有支撑柱,支撑柱的右端下侧安装有电动伸缩杆,电动伸缩杆的下端设有机架,所述加工台的上侧设有收集槽,收集槽位于机架正下方,收集槽的底部设有可抽出的过滤网,收集槽的下侧连通风机,用于对碎屑的收集,所述机架的右侧设有支撑块,所述支撑块固定在加工台的上侧,支撑块的上侧为圆弧形凹槽,本实用新型通过夹紧机构进行夹紧,通过平衡管和指示杆保证夹紧的方位准确,同时,通过相互错开的抛光带,对半导体棒进行全面的打磨,不需要转动,提高加工效率。
搜索关键词: 一种 半导体材料 研磨 抛光机
【主权项】:
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