[实用新型]一种薄膜压力传感器有效
申请号: | 202022713762.X | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN213516113U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 罗海涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市慧力迅科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20 |
代理公司: | 深圳市沃德知识产权代理事务所(普通合伙) 44347 | 代理人: | 于志光;高杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种薄膜压力传感器,包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层,所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片,所述第一箔片形成第一电极;所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片,所述第二箔片形成第二电极;所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔,本实用新型薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路,相较于现有银浆线路的压力传感器结构,没有银浆印刷对环境的污染,同时导电性能更好、抗氧化性更佳、使用寿命更长。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】:
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