[实用新型]一种硅片承载盒齿杆结构

摘要

一种硅片承载盒齿杆结构，包括齿杆本体，齿杆本体的两端设置有安装端头，齿杆本体的一侧表面沿轴线方向设置有一排齿条结构，齿条结构由等间距、相同结构的多个齿形结构组成，所述的齿形结构为菱形台状。本实用新型的硅片承载盒齿杆结构采用菱形台状齿形结构可以大大减少承载结构与硅片的接触面积，大幅度减少硅片在烘干等加工过程中硅片表面所产生的花篮印、水痕印等印迹，同时可加快烘干效率，节约生产成本；菱形台状齿形结构的体积较小，便于大型号硅片的自动化插片，减少划伤，减少返工和降级产品，提高生产质量；多个硅片承载盒齿杆结构配合可以保证承载大型硅片时的稳定性，并在此基础上减少硅片加工过程中产生的印迹，提高硅片的烘干效率。