[实用新型]一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置有效
| 申请号： | 202022763768.8 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214075431U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 胡文元 | 申请（专利权）人： | 上海福阜机械科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;B01D29/27;C23C22/76;C23C22/77;C23C22/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201500 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，涉及表面处理设备领域，包括硅烷喷淋槽，进行工件表面喷淋的装置；过滤部件，过滤含有杂质溶液的装置；待滤液管道，连通硅烷喷淋槽底部和过滤部件的管道；滤液回流管道，连通过滤部件和硅烷喷淋槽内部硅烷管道的管道；驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽和过滤部件之间循环的液流驱动装置。对于相关技术中硅烷喷淋槽内沉积的溶液不便再利用的问题，本申请具有净化沉积的硅烷溶液、将净化后的溶液自动补入硅烷喷淋槽中的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 循环 利用 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海福阜机械科技有限公司，未经上海福阜机械科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022763768.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种河道堤坝生态护坡
- 下一篇：一种用于硫化钠干燥的MVR蒸发器
