[实用新型]一种用于硅片扩散的石英舟有效
| 申请号： | 202022766854.4 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214361841U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朱亚文;马勤明 | 申请（专利权）人： | 重庆长捷电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 冉玲芬 |
| 地址： | 409100 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于硅片扩散的石英舟，包括舟架、第一挡板和第二挡板，所述舟架为长方形，所述第一挡板和第二挡板设于所述舟架上，所述第一挡板与所述舟架的边缘部分形成第一挂鼻区，所述第二挡板与所述舟架的边缘部分形成第二挂鼻区，所述舟架的两根横杆相对设有若干凹槽，所述凹槽用于放置硅片，凹槽与硅片的接触面为圆弧形结构，所述舟架的两根横杆上还设有透气孔，透气孔位于所述凹槽的背面，所述第一挡板上设有若干透气孔，所述第三挡板上设有若干透气孔，所述舟架、第一挡板和第二挡板一体成型，本实用新型通过在舟架上设置用于固定硅片的凹槽，不仅可以防止硅片在取进取出的滑落，而且本实用新型整体结构简单，易于批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 扩散 石英 | ||
【主权项】：
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