[实用新型]一种半导体生产用温度控制装置

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体生产用温度控制装置，包括箱体，所述箱体的正面开设有第一开口，所述箱体的内部设置有陶瓷加热体，所述箱体的正面设置有第一卡位板，所述第一卡位板靠近第一开口的一侧对称栓接有连接杆，所述连接杆的一端通过第一开口贯穿至箱体的内部并与陶瓷加热体栓接；本实用新型通过第一卡位板的设置，方便了该装置内部的加热丝进行更换，避免了工作人员维修或者更换加热丝时所需花费大量的时间，提高了工作人员维修的效率，并且结构简单，方便了该装置的操作，同时通过设置过滤箱，可以使该装置对冷却水箱内部的水流进行过滤，防止水流中存在杂质造成管道堵塞或者腐蚀，保障该装置工作时的稳定性。