[实用新型]一种光刻机用水循环冷却结构

摘要

本实用新型公开了一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器；冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，外壳上设有安装孔，温度传感器固定安装在所述安装孔上；风扇基座盖设在外壳上，使进水管与出水管限定在外壳和风扇基座之间；管道基座设置在外壳和风扇基座的一端，并分别与进水管与出水管连接；降温风扇固定安装在风扇基座上；其中，降温风扇设有两组，两组降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。本实用新型在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行降温处理，保证其在进入冷却目标时的温度为预设温度。