[实用新型]一种清除腔室碎片的装置有效
| 申请号： | 202022807879.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN214321173U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 杨宝海;德克.赫伯曼;杨娜;潘家永;许伟伟;宋玉超;乌维.赫伯曼;李轶军;李翔;李敦信;李义升 | 申请（专利权）人： | 营口金辰机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 115000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种清除腔室碎片的装置及PECVD设备的碎片清除方法涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式PECVD设备和腔室碎片清除装置及碎片清除方法。本实用新型包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清除 碎片 装置 | ||
【主权项】：
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