[实用新型]一种硅晶片设备专用高精度轴套

摘要

本实用新型公开了一种硅晶片设备专用高精度轴套，包括轴套本体、底座和轴瓦，轴套本体与底座可拆卸式固定连接，轴套本体包括套接段，套接段包括若干限位片，限位片用于对轴进行限位，轴瓦套设于限位片的外部，轴瓦包括第一瓦片和第二瓦片和调节杆，第一瓦片和第二瓦片相对设置，第一瓦片上设有贯穿第一瓦片的第一螺纹孔，第二瓦片上设有贯穿第二瓦片的第二螺纹孔，调节杆与第一螺纹孔、第二螺纹孔螺纹连接。采用这种结构利用限位片对转轴进行限位，具有高定位精度的同时避免了现有技术中圆筒状的轴套容易胀裂的技术问题，另外通过调节杆能够调节限位片与转轴之间的松紧程度。