[实用新型]一种平边晶圆的主传送手臂有效
| 申请号： | 202022811446.6 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213703464U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 唐正隆;王向东;王正辉;吴星华 | 申请（专利权）人： | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 王振佳 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平边晶圆的主传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于导向槽外侧切线的竖直夹角。本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平边晶圆 传送 手臂 | ||
【主权项】：
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