[实用新型]一种可加热的离子筛网装置有效
| 申请号： | 202022813065.1 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213242487U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张志强;杨平;王振 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200240 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可加热的离子筛网装置，属于晶圆设备技术领域，解决了离子筛网的热胀冷缩而开裂的问题，其技术要点是：包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加热体连接温度控制器；可根据工艺状态的不同来调整、节对离子筛网的加热状态，确保离子筛网表面的温度在一定范围内波动，可有效的降低离子筛网表面聚合物开裂而对腔体的污染，降低了颗粒对工艺腔体的污染，提高了生产工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 离子 筛网 装置 | ||
【主权项】：
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