[实用新型]一种双层主动降温石英管结构及反应室

摘要

本实用新型公开了一种双层主动降温石英管结构及反应室。石英管结构包括外石英管和内石英管，内石英管套于外石英管内，外石英管一端开口另一端封闭，内石英管一端开口另一端封闭，外石英管与内石英管之间的环形间隙形成冷却腔，冷却腔通过多个隔板分隔成多个冷却腔分区，隔板与外石英管的轴线平行，每个冷却腔分区的一端设有进液口，另一端设有出液口。反应室包括保温层、加热炉丝和炉门，还包括上述的双层主动降温石英管结构。本实用新型石英管结构的密封性好，可实现对内石英管内部进行主动降温，提升了降温速度，从而缩短工艺时间，增加产能的作用，可以实现两种不同的工艺。