[实用新型]半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具有效
| 申请号： | 202022821090.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213970700U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘亮德;贺贤汉;朱光宇;王松朋;张正伟;李泓波 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，包括下部进气保护治具、空气增压泵、气压调节阀、气体导流板、橡胶密封圈和上部保护治具，所述上部保护治具位于下部进气保护治具上，在下部进气保护治具上面设有一圈凸起，所述凸起外周设有橡胶密封圈，凸起内凹设有进气槽，在进气槽中固定有气体导流板，所述进气槽底部设有多个进气口，每个进气口分别与进气管路相连，所述进气管路均连接至主管路，在主管路上依次设有气压调节阀、空气增压泵。本申请治具可以避免喷砂造成的孔内砂材颗粒堵塞，而且能够消除使用胶带保护所引起的不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 化学 沉积 装置 喷头 部件 洗净 喷砂 保护 | ||
【主权项】：
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