[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 202022823502.8 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213951338U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王惠 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备，包括工艺腔室、前缓冲腔室、后缓冲腔室、位于工艺腔室内的工艺传输机构和旋转靶材，工艺传输机构将载板从工艺腔室的前端输送到工艺腔室的后端，旋转靶材用于对载板上的工件进行镀膜；回传输送机构，包括输送方向与工艺传输机构的输送方向相反的底层传送带、在前缓冲腔室内将底层传送带输出的载板运送至工艺传输机构的前传送带、在后缓冲腔室内将工艺传输机构输出的载板运送至底层传送带上的后传送带。回传输送机构可以将镀膜后输出的载板回传到工艺传输机构的前端，实现载板上工件的多次镀膜，在满足膜层厚度和质量要求的前提下，可降低镀膜时的电源功率和工艺腔室内的环境温度，有利于提高电池的转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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