[实用新型]一种硅晶片清洗用固定装置有效
| 申请号： | 202022826310.2 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213826317U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李亞松;李漢生;蔡雪良 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 钟斌 |
| 地址： | 215316 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅晶片清洗用固定装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶端固定安装有防护壳，所述防护壳的底端固定安装有电机，所述电机的动力输出端固定安装有转杆，所述转杆的表面固定安装有第一锥齿轮，所述防护壳的内部固定安装有支撑块，所述支撑块的内部活动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的表面固定安装有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，所述第一螺纹杆的表面旋合有L形块，所述L形块的内侧固定安装有夹紧装置。本实用新型通过L形块的内侧固定安装有夹紧装置，且两个L形块由防护壳的内部设置的调节机构，使得夹紧装置在工作台的上方，便于由夹紧装置将硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 清洗 固定 装置 | ||
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