[实用新型]一种硅晶片加工用磨平机有效

专利信息
申请号: 202022826341.8 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN213828372U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 鄧武康;李漢生;蔡雪良 申请(专利权)人: 昆山中辰矽晶有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B41/04;B24B41/06;B24B55/06;B24B55/12
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 钟斌
地址: 215316 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅晶片加工用磨平机,包括箱体,所述箱体的右侧固定安装有第一电机,所述第一电机的动力输出端固定安装有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的表面旋合有第一活动块,所述第一活动块的底端固定安装有气缸,所述气缸的输出端头固定安装有第二电机,所述第二电机的动力输出端固定安装有转杆,所述转杆的底端螺纹钉固定安装有打磨片,所述箱体的左侧固定安装有鼓风机,所述鼓风机的左侧固定安装有导气管。本实用新型通过鼓风机、导气管、第三电机、第二螺纹杆、第一L形块和第二活动块的配合设置,使得硅晶片被加工打磨后,硅晶片表面的碎屑能够被自动化清理,即实用性得到了提升。
搜索关键词: 一种 晶片 工用 磨平
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