[实用新型]一种最终抛光设备有效
| 申请号： | 202022835880.8 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN214213444U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;李斌栋 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种最终抛光设备，所述设备包括：抛光台、设置在抛光台上表面的抛光垫、设置于所述抛光台下方的驱动轴、设置在所述抛光台的上方空间的抛光头和喷嘴；其中，所述喷嘴朝向所述抛光台上的抛光垫喷洒抛光液，并且喷洒范围至少覆盖所述抛光垫的中心位置至所述抛光垫边缘的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 最终 抛光 设备 | ||
【主权项】：
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