[实用新型]晶圆焊接固定装置有效

专利信息
申请号: 202022853376.0 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN213816110U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 蓝远锋 申请(专利权)人: 深圳远东卓越科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/60
代理公司: 深圳力拓知识产权代理有限公司 44313 代理人: 崔智
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了晶圆焊接固定装置,包括焊座,焊座上方设置有放置盘,放置盘底部固定连接有旋转轴,焊座内开设有传动腔,旋转轴底部贯穿至传动腔内,并固定连接有竖直锥齿轮,竖直锥齿轮通过传动组件连接有传动齿盘,焊座顶部固定连接有呈L型的支撑板,支撑板上通过丝杠螺母连接有丝杠柱,丝杠柱通过万向球连接有移动柱,移动柱通过缓冲装置连接有弧形夹持件。本实用新型利用丝杠柱的移动,在移动柱、齿条、传动齿盘、棘轮组件、转动锥齿轮、传动锥齿轮的作用下使得竖直锥齿轮带动旋转轴进行转动,从而使得在松开夹持后利用丝杠柱的持续移动实现对放置盘上晶圆的转动,从而快速调整晶圆的焊接位置。
搜索关键词: 焊接 固定 装置
【主权项】:
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