[实用新型]一种高效环保的光刻版清洗夹具有效
申请号: | 202022855945.5 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213728432U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 明静;张敏 | 申请(专利权)人: | 深圳微纳电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种高效环保的光刻版清洗夹具,属于光刻版清洗夹具技术领域,该高效环保的光刻版清洗夹具包括底盘,所述底盘上表面的一侧开设有第一滑槽,所述底盘上表面的另一侧开设有第二滑槽,所述第一滑槽的内部活动连接有第一滑块,所述第二滑槽的内部活动连接有第二滑块。该高效环保的光刻版清洗夹具,通过底盘、第一滑槽、第二滑槽、第一滑块、第二滑块和夹板的设置,在使用时先将光刻板放入夹板中,多个夹板可同时放入批量光刻板,再将夹具整体放进清洗液中,当清理完一个光刻板后,拨动夹板使第一滑块和第二滑块在第一滑槽和第二滑槽内移动,从而清洗多个光刻板,大大提高了清洗效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 环保 光刻 清洗 夹具 | ||
【主权项】:
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