[实用新型]一种单晶炉有效
| 申请号： | 202022863075.6 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN214032746U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 宋克冉;孙须良;杨西虎 | 申请（专利权）人： | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 655000 云南省曲靖市曲靖*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供单晶炉，该单晶炉包括单晶炉本体与供气装置，单晶炉本体包括炉盖部与炉颈部，炉颈部位于炉盖部的上方，炉颈部的内径小于炉盖部的内径；炉盖部上或其与炉颈部连接处设有第一进气口，炉颈部上设有第二进气口，供气装置包括气源、三通阀和三个供气管路；通过三通阀调节气体进入单晶炉本体的位置以调节气体进入单晶炉本体的气流方向，不同的气流方向适应不同工序下的单晶硅的形成，以增加单晶硅生长的环境要求；在单晶硅的制造过程中，当处于等径工序的时候氩气经过炉颈部后竖直向下吹向正在生长的单晶硅，可避免因从侧面吹而造成的晃动现象出现，且能极大的提高炉内洁净度，提高单晶硅的生长质量，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于曲靖晶龙电子材料有限公司，未经曲靖晶龙电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022863075.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种医学检验用具分类放置的医学检验箱
- 下一篇：一种模拟人工的茶油压榨机
