[实用新型]一种全永磁电子回旋共振离子源有效

专利信息
申请号: 202022867075.3 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN213340286U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 周小影;汪锋 申请(专利权)人: 安徽费曼尔科技有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/38
代理公司: 安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196 代理人: 宋萍
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本申请涉及一种全永磁电子回旋共振离子源,包括套设于等离子体共振腔上的中空电磁线圈,中空电磁线圈外部包覆有外部磁轭,且中空电磁线圈两端设有外端磁轭,所述外部磁轭的环形端面上开设有环绕所述中空电磁线圈设置的环形槽,所述外端磁轭与所述外部磁轭配合的端面上固定有与所述环形槽插接配合的金属固定环;所述环形槽的内壁上开设有卡接凹槽,所述金属固定环上设有嵌入所述卡接凹槽内的弹性卡接部。本申请具有防止外端磁轭从外部磁轭上脱离的效果。
搜索关键词: 一种 永磁 电子 回旋 共振 离子源
【主权项】:
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