[实用新型]连续型锭生长装置

摘要

本实用新型公开连续型锭生长装置。本实用新型的连续型锭生长装置可包括：生长炉，在内部设置有为了形成锭而收容熔融状态的硅的主坩埚；材料供给部，用于供给使上述熔融状态的硅熔融之前的固态硅材料；定量供给部，通过对从上述材料供给部供给的上述固态硅材料的量进行计量，来供给规定量的固态硅材料；以及预备熔融部，通过使从上述定量供给部供给的规定量的上述固态硅材料熔融，来向上述主坩埚供给熔融状态的硅，由此可从使锭生长的主坩埚的外部以完全被熔融的熔融硅的状态向上述主坩埚供给多晶硅等的固态硅材料，因而无需在主坩埚内形成分隔壁，因此可缩小主坩埚的大小，从而可减少设备的制造费用，由于主坩埚形成一个区域，因而具有可提高主坩埚内的温度控制便捷性的效果。