[实用新型]一种硅片抛光前用中转装置有效
| 申请号： | 202022878530.X | 申请日： | 2020-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN213889547U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 袁祥龙;刘园;武卫;刘建伟;由佰玲;孙晨光;王彦君;常雪岩;裴坤羽;祝斌;刘姣龙;张宏杰;谢艳;杨春雪;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B08B3/02;B05B13/02;B05B14/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片抛光前用中转装置，包括放置台，在所述放置台上设有用于支撑硅片的承载组件及用于向所述硅片单侧面喷液的喷液组件；其中，所述承载组件使所述硅片悬空设置于所述放置台的一侧；从所述喷液组件喷出的液流可全面覆盖于所述硅片靠近所述放置台一侧平面。本实用新型中转装置，不仅可稳定放置硅片，而且可对靠近放置台一侧的硅片平面全面喷洗，从而可保证靠近放置台一侧的硅片平面被充分浸润。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 抛光 中转 装置 | ||
【主权项】：
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