[实用新型]一种计算机控制的化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 202022893600.9 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN214292565U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 齐新华;李莹 | 申请（专利权）人： | 齐新华 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/005;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 武汉仁合利泰专利代理事务所(特殊普通合伙) 42275 | 代理人： | 林枫 |
| 地址： | 450000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种计算机控制的化学机械抛光装置，涉及化学机械抛光技术领域，具体为一种计算机控制的化学机械抛光装置，包括抛光升降机构、转动柱、本体、注液管。该计算机控制的化学机械抛光装置，通过第二电动伸缩杆、清理板、转动板、传动柱以及自锁电机的配合使用，利用自锁电机带动传动柱进行转动，进而使转动板进行转动，可以自动对抛光升降机构的位置进行移动，避免了传统的计算机控制的化学机械抛光装置需要手动对抛光升降机构进行移动的问题，同时通过第二电动伸缩杆对清理板进行安装，利用第二电动伸缩杆带动清理板上下移动，使清理板可以底片表面对进行清理，提高了该计算机控制的化学机械抛光装置的使用便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计算机控制 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
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