[实用新型]一种晶圆切割用定位装置有效
申请号: | 202022898367.3 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN214291427U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 吴继勇 | 申请(专利权)人: | 江苏宿芯半导体有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 223800 江苏省宿迁*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆切割用定位装置,涉及电子元件加工技术领域。本实用新型包括载物台、定位板、弹出器、回弹器和载物箱,载物台焊接于载物箱上端,载物台四周贯穿插接有定位板,载物台下端贯穿插接有弹出器,弹出器固定于载物箱内侧底端,载物箱插接有回弹器,回弹器固定于载物箱内部。本实用新型通过设置载物台、定位板、弹出器和回弹器,解决了现有晶圆片切割定位装置移动稳定性差,晶片切割精度低,优品率低,不能适应各种尺寸晶圆片的切割,在更换不同尺寸晶圆片进行切割时操作困难,费时费力的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 定位 装置 | ||
【主权项】:
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