[实用新型]一种晶圆切割用定位装置有效

专利信息
申请号: 202022898367.3 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN214291427U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 吴继勇 申请(专利权)人: 江苏宿芯半导体有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 223800 江苏省宿迁*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种晶圆切割用定位装置,涉及电子元件加工技术领域。本实用新型包括载物台、定位板、弹出器、回弹器和载物箱,载物台焊接于载物箱上端,载物台四周贯穿插接有定位板,载物台下端贯穿插接有弹出器,弹出器固定于载物箱内侧底端,载物箱插接有回弹器,回弹器固定于载物箱内部。本实用新型通过设置载物台、定位板、弹出器和回弹器,解决了现有晶圆片切割定位装置移动稳定性差,晶片切割精度低,优品率低,不能适应各种尺寸晶圆片的切割,在更换不同尺寸晶圆片进行切割时操作困难,费时费力的问题。
搜索关键词: 一种 切割 定位 装置
【主权项】:
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