[实用新型]调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置有效
申请号: | 202022901855.5 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN214121970U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 陈思危;华陈权 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(华东) |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/84;G02B21/26;G02B21/06;G09B25/00 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 李景辉 |
地址: | 257061 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置,所述调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置包括:底玻璃板、顶玻璃板、设置在底玻璃板和顶玻璃板之间的压电陶瓷纳米定位器、以及与压电陶瓷纳米定位器电连接的直流调压器;底玻璃板和顶玻璃板的厚度均为1mm并相互平行;所述压电陶瓷纳米定位器粘接在底玻璃板和顶玻璃板之间,所述直流调压器输入电压为交流220V,最高输出电压为100V。本实用新型厚度仅7mm,面积与玻璃模型相匹配,完全满足高压釜内部可利用空间狭小的需求;控制精度高,调节精度±20nm;应用简单,易于操控。 | ||
搜索关键词: | 调整 范围 微米 微观 实验 位移 装置 | ||
【主权项】:
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