[实用新型]一种半导体静电测试装置有效
| 申请号： | 202022901988.2 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN213986642U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 叶明明 | 申请（专利权）人： | 深圳市超导半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R1/04;B65G15/58 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 郝艳平 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及静电测试技术领域，具体涉及一种半导体静电测试装置，包括工作台，所述工作台的一侧设置有测试组件，所述测试组件包括安装机构和设置在所述安装机构顶部的静电测试枪，所述工作台的另一侧还设有送料机构，所述工作台上还设有控制器，所述测试组件、安装机构、静电测试枪、送料机构均与所述控制器电连接。所述半导体静电测试装置便于对实现对半导体实现半自动化检测，以提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 静电 测试 装置 | ||
【主权项】：
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