[实用新型]一种半导体涂胶晶片烘烤机构

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体涂胶晶片烘烤机构，包括箱体，所述箱体包括烘烤机、烘烤盘、门板以及烘烤灯，所述烘烤机设置在箱体下半部分，所述烘烤盘设有多个包括滑动条与盛放架，所述滑动条设置在烘烤盘两端，将半导体涂胶晶片放置在烘烤盘内的烘烤机上，烘烤机上有晶片分置板，将涂胶晶片均匀分散放置烘烤，箱体内壁设有烘烤灯，每层烘烤盘的上方与下方也设置了烘烤灯，且烘烤灯两端嵌入箱体固定位置，有效避免了烘烤不均匀与烘烤时间过长的问题，烘烤过程中可以通过观察窗来观察设备内部运行状态。