[实用新型]一种液体回收装置有效
申请号: | 202022915042.1 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN214022247U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 郭炳熙;周铁军;米艳娇 | 申请(专利权)人: | 广东先导先进材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;宋亚楠 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及液体回收技术领域,公开了一种液体回收装置,包括:清洗盘,所述清洗盘用于夹紧晶圆,所述清洗盘的侧壁设有通孔;转动机构,所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动;供液组件,所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体;第一收液盘,所述第一收液盘具有第一收液腔,所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管;第一升降机构,所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降,以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘;及第二收液盘,所述第二收液盘具有第二收液腔,所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。本实用新型可有效避免在回收的液体中混入其它液体,实现对不同液体的精准回收。 | ||
搜索关键词: | 一种 液体 回收 装置 | ||
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