[实用新型]一种半导体检测探针平台有效
| 申请号： | 202022917239.9 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN213689843U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 赵强;张静 | 申请（专利权）人： | 无锡市强汇胜半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/073;G01N21/84;H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 王俊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种半导体检测探针平台，包括顶台和底座，底座固定连接在顶台的底端，顶台的顶端固定连接有检测镜电控装置，底座的顶端固定连接有平台，平台的顶端固定连接有控制装置，控制装置的底端固定连接有检测镜，控制装置和检测镜电控装置之间通过导线连接；在检测镜对半导体外表面进行检测的时候，下方两侧的探针便于对半导体进行电极检测，同时探针的底端位置设置在检测镜的下方位置，也便于检测镜对探针和半导体之间的接触进行检测，通过检测盘，顶部呈顶部表面呈阶梯状梯形内凹设置，便于对半导体进行放置，同时配合灯柱，对半导体外表进行照射，便于使得检测镜对其外表面进行观察检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 探针 平台 | ||
【主权项】：
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