[实用新型]反应室以及炉管设备有效
申请号: | 202022919903.3 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN215163103U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 张勇;李国庆;李锐;罗伟斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/50 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 林明校 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了反应室以及炉管设备,其中,反应室,包括:炉体,设置有沿轴向贯通的第一腔体;第一炉管,容置在所述第一腔体内,所述第一炉管的材质为不锈钢材质,所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体;支撑部,至少包括两个,分别设置在所述第一炉管的轴向的两端,并支撑所述第一炉管;盖部,设置在所述第一炉管的轴向的一端,封堵所述第二腔体;门部,设置在所述第一炉管的轴向的另一端,封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。根据本实用新型的反应室,能够大大降低炉管加工和维护的成本,进而降低反应室的成本。 | ||
搜索关键词: | 反应 以及 炉管 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的