[实用新型]MEMS气体变送装置有效
| 申请号： | 202022932017.4 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN214174294U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 汪献忠;李建国;曹威;侯新梅 | 申请（专利权）人： | 河南省日立信股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 朱俊峰 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。本实用新型结构简单、体积小巧，便于安装及拆卸，测量气室内部空间小，测量过程中气体残留少，且通过引入压力传感器，使得本实用新型测量速度迅速，测量数值准确。 | ||
| 搜索关键词： | mems 气体 装置 | ||
【主权项】：
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