[实用新型]一种夹具、托盘以及溅射系统

摘要

本实用新型实施例提供了一种夹具、托盘以及溅射系统，涉及溅射技术领域。在夹具中设置相互连接的支撑结构和夹持结构，夹持结构被配置为夹持待溅射基板；夹持结构在支撑结构所在平面上的正投影与支撑结构存在重合区域和非重合区域；其中，位于非重合区域处的支撑结构和/或位于非重合区域处的夹持结构具有第一镂空结构。通过在夹具中设置第一镂空结构，使得夹具在对待溅射基板进行夹持时，待溅射基板上被夹具覆盖的区域中有部分区域可以通过第一镂空结构露出，减少了夹具对待溅射基板的遮挡面积，从而提高了待溅射基板中被夹具覆盖的区域在溅射过程的成膜温度，提升了该区域的成膜质量，进而提高产品的质量和生产良率。