[实用新型]一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统

摘要

本实用新型提供一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统。所述系统包括过滤装置，所述过滤装置包括至少一个过滤器，用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂，所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯和二级滤芯，所述二级滤芯中设有电加热单元，所述电加热单元为可通电发热的电阻丝，用于对流经所述二级滤芯的所述废剥离液加热，使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯上。所述系统能够实现在线连续运行，工艺参数可控、装置稳定性高，低成本、易操作，且脱除后的剥离液中杂质含量显著降低，有利于后续剥离液精馏再生提纯工序的正常运行。