[实用新型]一种基于单晶硅外延片生产输送理片机有效

专利信息
申请号: 202022951265.3 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN213459683U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 李治宇;吴勇 申请(专利权)人: 四川雅吉芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 代理人: 张锐
地址: 625000 四川省雅安市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产输送理片机。所述基于单晶硅外延片生产输送理片机,包括:侧支撑板、连接板,所述连接板的顶部固定连接有两个夹紧电机,所述连接板的顶部且位于夹紧电机的两侧均转动连接有两个第二齿轮,两个所述夹紧电机输出轴的外部与两个第二齿轮转轴的外部分别传动连接有第一传动带、第二传动带。本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送理片机通过连接板带动整个装置旋转一圈,将单晶硅外延片摆放在一个统一固定的位置,由传输带传输通过定向箱传出,使得单晶硅外延片方向统一且位置整齐的摆放在传输台上,便于人员后期的包装整合,代替了人工手动整理的方式,极大的提高了对单晶硅片的整理速度、生产效率,降低了出错率。
搜索关键词: 一种 基于 单晶硅 外延 生产 输送 理片机
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