[实用新型]一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置有效

专利信息
申请号: 202022961309.0 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN214419234U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 李健乐;张淳;张丰;戴超;邢子淳;李伦;王彦君;孙晨光 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04;B28D5/04
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,包括机架及单晶晶棒本体,所述机架顶部固接工作台,所述工作台顶面垂直位置固接夹持装置,所述工作台上放置料座,所述料座与夹持装置位置对应,所述工作台顶面两侧固接对中气缸,所述对中气缸动力端固接顶杆一端,所述顶杆另一端固接推板一侧,所述推板另一侧接触料座侧面;所述夹持装置包括底座,所述底座通过螺栓固接工作台顶面,所述底座顶面两侧分别固接两个滑杆,两个所述滑杆左侧滑动连接两个左滑块,两个所述左滑块固接左夹持臂,两个所述滑杆右侧滑动连接两个右滑块。本实用新型自动化程度高,对中精确快速,能够快速的进行料座的对接,满足料座在脱胶工序后的回流工作。
搜索关键词: 一种 基于 ntc3050 型线切机单晶料座 回流 对接 装置
【主权项】:
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