[实用新型]一种用于太阳能电池的刻蚀装置有效
| 申请号： | 202023004142.5 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN213752640U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 仲伟佳;杨晓君;任现坤;宋超;张洪岩;郭瑞静;姜川;曹振;葛永见;陈冲;韩其家 | 申请（专利权）人： | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 于晓晓 |
| 地址： | 250103 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置，属于太阳能电池的技术领域。包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述第四区域设有热风机。本实用新型合理的利用了空间，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上，减小了设备的占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
