[实用新型]一种用于剥离膜系统的真空抽速装置

摘要

本实用新型公开了一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，包括分子泵、角阀、三通接头、四通接头、微调阀和粗抽泵；所述分子泵的进气端连接剥离膜系统，分子泵的出气端连接三通接头的第一接口，三通接头的第二接口连接角阀的一个接口，角阀的另一个接口连接四通接头的第一接口，四通接头的第二接口连接粗抽泵；三通接头的第三接口连接微调阀的一个接口，微调阀的另一个接口连接四通接头的第三接口，四通接头的第四接口上连接有截止阀。该装置通过角阀和微调阀配合控制真空抽速，有效缩短工作时间，方便控制和调节，同时可降低对操作人员经验的依赖，防止抽真空，及停机检修时造成剥离膜系统损坏。